| 摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE LA CORRECTION DE L'ASTIGMATISME DANS UN MICROSCOPE DE BALAYAGE A FAISCEAU ELECTRONIQUE.</P><P>SELON L'INVENTION, UN CERCLE DE CONFUSION MINIMALE DU FAISCEAU D'ELECTRONS 1 EST FORME SUR UN ECHANTILLON 3 SANS FONCTIONNEMENT DE L'ASTIGMATEUR 5X, 5Y; ALORS LE CERCLE DE CONFUSION MINIMALE EST DIMINUE PAR LE STIGMATEUR 5X, 5Y, POUR PERMETTRE AINSI DE CORRIGER TOTALEMENT L'ASTIGMATISME DE LA LENTILLE 2 DANS LE MICROSCOPE.</P><P>L'INVENTION S'APPLIQUE NOTAMMENT A L'ANALYSE DES ECHANTILLONS.</P>
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