| 发明名称 |
DEVICE FOR HAVING ATOMIC OR MOLECULAR FLOW SOURCE BY SOLID MATERIAL SPATTERING PRINCIPLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5493355(A) |
申请公布日期 |
1979.07.24 |
| 申请号 |
JP19780107673 |
申请日期 |
1978.09.04 |
| 申请人 |
ELEKTRONENMIKROSKOPIE ZENTRUM |
发明人 |
EERITSUHI YAKOPITSUKU |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/305;H01J37/34 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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