发明名称 ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5492064(A) 申请公布日期 1979.07.20
申请号 JP19770157789 申请日期 1977.12.29
申请人 NIPPON ELECTRON OPTICS LAB 发明人 SATOU HITOSHI;YUASA TETSUO
分类号 H01L21/027;H01L21/26 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址