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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5420118(B2)
申请公布日期
1979.07.20
申请号
JP19720001209
申请日期
1971.12.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/288;(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
H01L21/288
代理机构
代理人
主权项
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