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发明名称 OUTSIDEEVACUUM TYPE ELECTRONIC BEAM PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPS5490692(A) 申请公布日期 1979.07.18
申请号 JP19770158007 申请日期 1977.12.28
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KOBAYASHI HIDEKI
分类号 B23K15/10;B23K15/00;H01L21/027;H01L21/26 主分类号 B23K15/10
代理机构 代理人
主权项
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