发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5487074(A) 申请公布日期 1979.07.11
申请号 JP19770155243 申请日期 1977.12.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 IDOGAMI TAKASHI
分类号 H01L21/66;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/73 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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