发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG REINSTER SILICIUMEINKRISTALLE
摘要
申请公布号 DE2758888(A1) 申请公布日期 1979.07.05
申请号 DE19772758888 申请日期 1977.12.30
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 KOEHL,FRANZ,DIPL.-PHYS.
分类号 C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):B01J17/18 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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