发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG REINSTER SILICIUMEINKRISTALLE |
摘要 |
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申请公布号 |
DE2758888(A1) |
申请公布日期 |
1979.07.05 |
申请号 |
DE19772758888 |
申请日期 |
1977.12.30 |
申请人 |
WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH |
发明人 |
KOEHL,FRANZ,DIPL.-PHYS. |
分类号 |
C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):B01J17/18 |
主分类号 |
C30B15/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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