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发明名称 PATTERN FORMING METHOD FOR MO THIN FILM USING AL MASK
摘要
申请公布号 JPS5482172(A) 申请公布日期 1979.06.30
申请号 JP19770149308 申请日期 1977.12.14
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 KOBAYASHI TOSHIO;YANAGAWA FUMIHIKO;ARAI EISUKE;YOSHINO HIDEO
分类号 C23F1/14;H01L21/302;H01L21/306 主分类号 C23F1/14
代理机构 代理人
主权项
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