发明名称 APPARATUS FOR SPUTTERING CYLINDERS.
摘要
申请公布号 NL7812572(A) 申请公布日期 1979.06.29
申请号 NL19780012572 申请日期 1978.12.27
申请人 COULTER SYSTEMS CORPORATION TE BEDFORD, MASSACHUSETTS, VER. ST. V. AM. 发明人
分类号 C23C14/34;C23C14/50;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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