| 发明名称 |
HOCHLEISTUNGSPRAEZISIONSJUSTIERGERAET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2854856(A1) |
申请公布日期 |
1979.06.28 |
| 申请号 |
DE19782854856 |
申请日期 |
1978.12.19 |
| 申请人 |
CANON K.K. |
发明人 |
SATO,HIROSHI;YAMAMOTO,HIRONORI |
| 分类号 |
H01L21/027;B23Q1/62;B23Q5/00;B23Q5/26;B23Q5/34;F16C29/02;G01B5/00;G03F7/20;G05D3/00;G12B5/00;H01L21/288;H01L21/30;H01L21/67;H01L21/68;(IPC1-7):G12B5/00 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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