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发明名称 ELECTRONNBEAM EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS5481063(A) 申请公布日期 1979.06.28
申请号 JP19770148992 申请日期 1977.12.12
申请人 NIPPON ELECTRON OPTICS LAB 发明人 ISOBE MORIYUKI
分类号 H01J37/04;H01J3/10;H01J37/147;H01L21/027 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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