发明名称 INPURITY DIFFUSION METHOD
摘要
申请公布号 JPS5475274(A) 申请公布日期 1979.06.15
申请号 JP19770143192 申请日期 1977.11.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIMODA HARUO;TAKAGI MIKIO
分类号 C30B31/06;H01L21/223 主分类号 C30B31/06
代理机构 代理人
主权项
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