| 发明名称 |
Reduction of depth of field in an electron probe device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2009495(A) |
申请公布日期 |
1979.06.13 |
| 申请号 |
GB19780046611 |
申请日期 |
1978.11.30 |
| 申请人 |
NATIONAL RESEARCH DEVELOPMENT CORP |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/147;H01J37/26;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/02;H01J37/21;H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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