发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE AND METHOD OF USING SAME
摘要
申请公布号 JPS5472683(A) 申请公布日期 1979.06.11
申请号 JP19780133845 申请日期 1978.11.01
申请人 BUELOW FRED K;ZASIO JOHN J;ROORENSU EICHI KUTSUKU 发明人 FURETSUDO KEI BIYUUROO;JIYON JIEI ZASHIO;ROORENSU EICHI KUTSUKU
分类号 H01L21/027;H01J37/304 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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