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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM DEVICE AND METHOD OF USING SAME
摘要
申请公布号
JPS5472683(A)
申请公布日期
1979.06.11
申请号
JP19780133845
申请日期
1978.11.01
申请人
BUELOW FRED K;ZASIO JOHN J;ROORENSU EICHI KUTSUKU
发明人
FURETSUDO KEI BIYUUROO;JIYON JIEI ZASHIO;ROORENSU EICHI KUTSUKU
分类号
H01L21/027;H01J37/304
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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