| 发明名称 |
SPOSOB I URZADZENIE DO ODDZIELANIA MATERIALU POLPRZEWODNIKOWEGO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
PL209746(A1) |
申请公布日期 |
1979.06.04 |
| 申请号 |
PL19780209746 |
申请日期 |
1978.09.21 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
RUCHA ULRICH;BAROWSKI GERHARD |
| 分类号 |
C30B25/00;C01B33/02;C23C16/52;C30B25/16;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):B01J/ |
主分类号 |
C30B25/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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