发明名称 ELECTRON RAY APPLICATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5468149(A) 申请公布日期 1979.06.01
申请号 JP19770135362 申请日期 1977.11.11
申请人 ERIONIKUSU KK 发明人 OOI HIDEYUKI;HOTSUTA MASANAO;SUGANUMA TADAO
分类号 H01J37/153;H01J37/26;H01J37/28;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/26 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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