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发明名称
GAS PHASE GROWING METHOD
摘要
申请公布号
JPS5467770(A)
申请公布日期
1979.05.31
申请号
JP19770134070
申请日期
1977.11.10
申请人
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD
发明人
KUROKAWA HARUSHIGE;ENDOU YOSHIHIDE
分类号
H01L21/316;H01L21/314
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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