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经营范围
发明名称
TRANSVERSE IMPURITY DIFFUSION FURNACE
摘要
申请公布号
JPS5463670(A)
申请公布日期
1979.05.22
申请号
JP19770129624
申请日期
1977.10.31
申请人
HITACHI LTD
发明人
FUKUYAMA MASATAKA
分类号
C30B31/06;H01L21/22
主分类号
C30B31/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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