发明名称 TRANSVERSE IMPURITY DIFFUSION FURNACE
摘要
申请公布号 JPS5463670(A) 申请公布日期 1979.05.22
申请号 JP19770129624 申请日期 1977.10.31
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUKUYAMA MASATAKA
分类号 C30B31/06;H01L21/22 主分类号 C30B31/06
代理机构 代理人
主权项
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