发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5461870(A) 申请公布日期 1979.05.18
申请号 JP19770129017 申请日期 1977.10.26
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 TAKAHASHI JIYUNICHI;SEKO SUMUTO
分类号 H01L21/322;H01L21/316 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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