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发明名称
METHOD OF FORMING PATTERN
摘要
申请公布号
JPS5460569(A)
申请公布日期
1979.05.16
申请号
JP19770127452
申请日期
1977.10.24
申请人
CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI
发明人
JINNO KIYOKATSU
分类号
H01L21/30;H01L21/027;H01L21/302
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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