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发明名称 INSPECTING METHOD OF SEALING BODIES
摘要
申请公布号 JPS5454583(A) 申请公布日期 1979.04.28
申请号 JP19770120972 申请日期 1977.10.11
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 GOTOU EIZOU
分类号 G01N3/02;H01L21/66 主分类号 G01N3/02
代理机构 代理人
主权项
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