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发明名称
摘要
申请公布号 DE2257846(C3) 申请公布日期 1979.04.19
申请号 DE19722257846 申请日期 1972.11.25
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y. (V.ST.A.) 发明人 FISCHER, WALTER, 7031 AFFSTAETT;MASTAI, ALDO JOSEF, ZUERICH (SCHWEIZ);ROCHER, EDOUARD YVES, OSSINING, N.Y. (V.ST.A.)
分类号 H01L27/04;G05F1/56;H01L21/331;H01L21/822;H01L27/02;H01L27/06;H01L29/66;H01L29/73;H01L29/74;H01L29/78;H02H7/20;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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