发明名称 IONENIMPLANTATIONSVERFAHREN UND DESSEN ANWENDUNG
摘要
申请公布号 DE2844162(A1) 申请公布日期 1979.04.19
申请号 DE19782844162 申请日期 1978.10.10
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA (JAPAN) 发明人 SPADEA, GREGORIO, SARATOGA, CALIF. (V.ST.A.)
分类号 H01L27/092;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/06;H01L29/78;(IPC1-7):01L21/265 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
主权项
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