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发明名称 PLASMA CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5447576(A) 申请公布日期 1979.04.14
申请号 JP19770113362 申请日期 1977.09.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 AKIBA MASAKUNI;NAGATOMO HIROTO;SUZUKI JIYUN;YOSHIMI TAKEO
分类号 C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/56 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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