| 发明名称 |
ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5442979(A) |
申请公布日期 |
1979.04.05 |
| 申请号 |
JP19770104610 |
申请日期 |
1977.08.30 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
MIZUNO KENJI;OONISHI YOSHITAKE;ITOU MASAKI |
| 分类号 |
H01J37/305;H01J37/28;H01L21/027;H01L21/26 |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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