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发明名称 DEVICE FOR INSPECTING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5441079(A) 申请公布日期 1979.03.31
申请号 JP19770108077 申请日期 1977.09.08
申请人 KOBATORON KK 发明人 UBUKATA HIROHIKO
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L21/68 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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