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发明名称
摘要
申请公布号 JPS546356(B2) 申请公布日期 1979.03.27
申请号 JP19740105160 申请日期 1974.09.12
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L21/68;H01L23/32;H05K3/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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