| 发明名称 |
METHOD OF REMOVING RESIST MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5424020(A) |
申请公布日期 |
1979.02.23 |
| 申请号 |
JP19770088865 |
申请日期 |
1977.07.26 |
| 申请人 |
TOKYO OUKA KOUGIYOU KK |
发明人 |
NAKANE HISASHI;UEHARA AKIRA |
| 分类号 |
H01L21/027;B41C1/00;G03C11/00;G03F7/00;G03F7/42;H01L21/30;H01L21/302;H05K3/06 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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