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发明名称
摘要
申请公布号 JPS543646(Y2) 申请公布日期 1979.02.20
申请号 JP19750014207U 申请日期 1975.01.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/673;C23C16/44;H01L21/22;H01L21/223;H01L21/383;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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