发明名称 MANUFACTURE OF CORRECTION FILTER FOR EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5422155(A) 申请公布日期 1979.02.19
申请号 JP19770087638 申请日期 1977.07.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP 发明人 HIRABAYASHI KAZUAKI;KIHARA ATSUSHI
分类号 H01J9/227;G02B5/20 主分类号 H01J9/227
代理机构 代理人
主权项
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