| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5422170(A) |
申请公布日期 |
1979.02.19 |
| 申请号 |
JP19770086116 |
申请日期 |
1977.07.20 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
OOMURA MAKOTO |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/302;H01L21/8247;H01L29/76;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
