发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 JPS5420672(A) 申请公布日期 1979.02.16
申请号 JP19770085228 申请日期 1977.07.15
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKAGI HIROMITSU;KANOU KOUTA;TERAMOTO IWAO
分类号 H01L29/78;H01L21/316;H01L21/324 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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