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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5419648(A) 申请公布日期 1979.02.14
申请号 JP19770084774 申请日期 1977.07.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ITOU TAKASHI;NISHI HIDETOSHI;ISHIKAWA HAJIME
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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