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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5417683(A)
申请公布日期
1979.02.09
申请号
JP19770082426
申请日期
1977.07.08
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KAMIYA YASUO
分类号
H01L21/8222;H01L21/331;H01L27/04;H01L27/082;H01L29/72;H01L29/73
主分类号
H01L21/8222
代理机构
代理人
主权项
地址
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