发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5414685(A) 申请公布日期 1979.02.03
申请号 JP19770079946 申请日期 1977.07.06
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 SAKAI TETSUSHI;KOBAYASHI YOSHIHARU;NAKADA JIYOUJI;YAMAUCHI HIROKI
分类号 H01L29/73;H01L21/306;H01L21/31;H01L21/331;H01L29/10;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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