发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS5414685(A) |
申请公布日期 |
1979.02.03 |
申请号 |
JP19770079946 |
申请日期 |
1977.07.06 |
申请人 |
NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE |
发明人 |
SAKAI TETSUSHI;KOBAYASHI YOSHIHARU;NAKADA JIYOUJI;YAMAUCHI HIROKI |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/306;H01L21/31;H01L21/331;H01L29/10;H01L29/72 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|