发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5413265(A) 申请公布日期 1979.01.31
申请号 JP19770077848 申请日期 1977.07.01
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSURUOKA MASAO;MORITA KEIICHI;YAGI HIDEYUKI
分类号 H01L21/52;H01L23/04;H01L23/10 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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