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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5412570(A) 申请公布日期 1979.01.30
申请号 JP19770076523 申请日期 1977.06.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 WATANABE TOMOYUKI;OKADA YUTAKA;KANEKO KENJI;OKABE TAKAHIRO
分类号 H01L21/8226;H01L21/33;H01L21/331;H01L27/04;H01L27/082;H01L29/08;H01L29/70;H01L29/72;H01L29/73 主分类号 H01L21/8226
代理机构 代理人
主权项
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