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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS548971(A) 申请公布日期 1979.01.23
申请号 JP19770074635 申请日期 1977.06.22
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 SATOU AKIRA
分类号 H01L29/73;H01L21/28;H01L21/331;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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