发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR METERING FILM THICKNESS
摘要
申请公布号 JPS547967(A) 申请公布日期 1979.01.20
申请号 JP19770073593 申请日期 1977.06.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SATOU ISAO
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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