发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要 PURPOSE:To produce the high-speed I<2>L through production of a high dierectric strength transistor and I<2>L within the same chip by utilizing one of the three epitaxial layers for the diffusion source.
申请公布号 JPS545391(A) 申请公布日期 1979.01.16
申请号 JP19770069826 申请日期 1977.06.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 NIINO KAORU
分类号 H01L21/8226;H01L27/02;H01L27/082;H03K19/091 主分类号 H01L21/8226
代理机构 代理人
主权项
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