发明名称 PIEZOELECTRIC CRYSTAL FILM OF ZINC OXIDE
摘要
申请公布号 JPS544399(A) 申请公布日期 1979.01.13
申请号 JP19770070150 申请日期 1977.06.13
申请人 MURATA MANUFACTURING CO 发明人 OGAWA TOSHIO;NISHIYAMA KOUJI;MASUO TASUKU
分类号 C04B35/453;C01G9/02;C23C14/08;C30B28/12;C30B29/16;H01L41/18;H03H3/02 主分类号 C04B35/453
代理机构 代理人
主权项
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