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发明名称 CLEANING METHOD FOR SEMICONDUCTOR SURFACE
摘要
申请公布号 JPS544073(A) 申请公布日期 1979.01.12
申请号 JP19770069312 申请日期 1977.06.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SUGAWA TOSHIO;KONUMA TAKESHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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