发明名称 FORMING METHOD FOR METAL WIRING
摘要
申请公布号 JPS542685(A) 申请公布日期 1979.01.10
申请号 JP19770068278 申请日期 1977.06.08
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 YAMAZAKI KENZOU
分类号 H05K3/02;H01L21/302;H01L21/306;H01L23/52;H05K3/06 主分类号 H05K3/02
代理机构 代理人
主权项
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