发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM MACHINING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS541496(A) 申请公布日期 1979.01.08
申请号 JP19770065737 申请日期 1977.06.06
申请人 OSAKA TRANSFORMER CO LTD 发明人 OKADA AKIYUKI;NEMOTO YOUICHI
分类号 H01J37/30;B23K15/06 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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