| 发明名称 |
DISPOSITIF POUR LE TRANSPORT DE SUBSTRATS SOUS ATMOSPHERE CONTROLEE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2869452(B1) |
申请公布日期 |
2006.09.08 |
| 申请号 |
FR20040050751 |
申请日期 |
2004.04.21 |
| 申请人 |
ALCATEL SOCIETE ANONYME |
发明人 |
BERNARD ROLAND;KAMBARA HISANORI;RIVAL JEAN LUC;LE GUET CATHERINE |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/00;B65D81/20;H01L21/673;H01L23/34 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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