发明名称
摘要 <P>Procédé de sensibilisation de produits de masquage photosensibles et nouveaux produits ainsi obtenus. </P><P>Dans ce procédé, on met en contact la couche de masquage photosensible avec une solution sensibilisatrice, comprenant environ 50 à 100 % en poids d'au moins un hydrocarbure halogéné aliphatique normalement liquide, en tant que solvant, choisi parmi le chlorure de méthylène, le trichloromonofluorométhane, le tétrachlorodifluoroethane, le trichlorotrifluoroéthane, le dichlorotétrafluoroéthane et leurs mélanges, et environ 0 à environ 50 % en poids d'une matière organique non halogénée, normalement liquide, miscible avec le solvant hydrocarboné halogéné, à une température et pendant une période de temps suffisantes pour retirer les parties restantes du produit de masquage photosensible, sans retirer les parties choisies de ce produit. </P><P>La présente invention est particulièrement utile pour sensibiliser des produits de masquage photosensibles à l'aide de solutions évitant les inconvénients du xylène, par suite de problèmes d'évacuation et d'inflammabilité posés par le xylène.</P>
申请公布号 FR2389926(A1) 申请公布日期 1978.12.01
申请号 FR19780013218 申请日期 1978.05.03
申请人 ALLIED CHEMICAL CORP 发明人
分类号 H01L21/30;G03F7/30;G03F7/32;H01L21/027;(IPC1-7):G03C5/24;G03C1/71;H01L21/32 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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