| 发明名称 |
DEVICE FOR SIMULTANEOUSLY TREATING PLURAL SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53137670(A) |
申请公布日期 |
1978.12.01 |
| 申请号 |
JP19780049199 |
申请日期 |
1978.04.24 |
| 申请人 |
RCA CORP |
发明人 |
ROBAATO CHIYAARUZU SHIYANBERAN |
| 分类号 |
H01L21/30;B05D1/42;B65G49/07;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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