发明名称
摘要
申请公布号 JPS5348591(Y2) 申请公布日期 1978.11.21
申请号 JP19740032590U 申请日期 1974.03.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;C23C16/44;H01L21/22;H01L21/38;H01L21/68;H01L21/70;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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