发明名称
摘要
申请公布号 JPS5348599(Y2) 申请公布日期 1978.11.21
申请号 JP19760003584U 申请日期 1976.01.16
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;G01R31/12;G01R31/16;H01L23/40;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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