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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53133370(A) 申请公布日期 1978.11.21
申请号 JP19770049218 申请日期 1977.04.27
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 HASHIMOTO TADAHIRO
分类号 H01L21/3205;C23F1/00;H01L21/28;H01L21/306 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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